随着科技的发展，每个电子产品都离不开半导体芯片。的半导体芯片制造企业，如：intel、台积电、三星、德州仪器、海力士、美光等半导体制造企业对于厂房基建的微振动有严格的要求。微振动一共7个等级，分别为cv-a/vc-b/vc-c/vc-d/vc-e/vc-f/vc-g。洁净室根据放置的设备不一样，对于地面的振动要求等级不一样。如光刻机的机台地面要求达到vc-d 6.25um/s rms以下，为---是否符合标准。某半导体制造企业使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪对地面进行振动检测，为光刻机装机前---振动值符合vc-d 6.25um/s rms保驾---。

瑞典vmi viber-x5振动分析仪带您了解双吸离心循环水泵的异常振动治理及解决方案

双吸离心循环水泵的振动问题是工厂老大难的，viber x5智能双通道振动分析仪，很多企业碰到振动超标都束手无策。本案例主要告知水泵iso10816-3振动标准及水泵会出现哪里异常振动问题。首先iso10816-3振动标准分为4个等级，水泵的振动标准应用在group 3和4的等级表示。

1组：额定功率***300kw的大型机器；轴高***315mm的电机。通常为滑动轴承，转速120rpm -15000rpm

2组：额定功率15kw≤p＜300kw；轴高160≤h＜315 mm的电机。通常具有滚动轴承，转速＞600rpm

3组：额定功率＞15kw 多叶片叶轮并与原动机分开连接的泵离心式、混流式、轴流式

4组：额定功率＞15kw 多叶片叶轮并与原动机成一体的泵离心式、混流式、轴流式

轴心轨迹xy 图：用这个程序，你可以看见轴的相对轨迹。它利用两个垂直安装呈 90 度角的传感器，以显示出 x 值相对于 y 值的图形，主要用于分析滑动轴承的故障，如汽轮机、压缩机等大型高转速设备。

同步频谱 : 这个程序对减弱复杂信号频谱的背景噪声是很有用的。当你具有非常接近机器转速谐频的谱峰时，此功能能准确分析隔离非常接近于设备转速的频率及转速谐波的谱峰。

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